ITWジャパン株式会社
ITWジャパン(旧：ブルックスインスツルメント)は、マスフローコントローラ分野の時代の先端をいく、リーディング・カンパニーとして、半導体業界はもとより、石油化学業界、医薬品業界、自動車産業、その他の幅広い産業分野のご要望にお応えします。
● マスフローコントローラ(デジタル)
● 液体用マスフローコントローラー
● パージメーター・ローターメーター
● 超音波ドップラ流量計
● KARMAN式流量計
● フローコントローラ
マスフローコントローラー/メーター
300mm 半導体製造装置のプロトコルであるDevice-netに対応したデジタルマスフローコントローラ/メータです。
少流量から大流量までをカバーするガズ流量計です。
コリオリ式 高精度マスフローコントローラ/メータ
従来では極めて困難とされていた極小流量の直接質量流量計測、制御を可能な液体流量計です。
従来のサーマル式マスフローコントローラと異なり、測定流体を加熱しないため低沸点の液体も制御可能な液体流量計です。
