アドテックプラズマテクノロジー株式会社

アドテックプラズマテクノロジー株式会社

信頼性の高いプラズマ用電源とインピーダンス整合装置(ビジュアルマッチングBOX)、計測・モニター装置の提供を通じて、プラズマ用電源関連製品のトータルサービスとトータルソリューションを目指しております。
また、大幅な小型化に成功した新製品も高い評価をいただいております。

● プラズマ用高周波電源
● ビジュアルマッチングBOX
● 高周波電源計測RFパワートレーサー
● チャンバーアナライザー

お困りのことはありませんか?
・RF/G,M/B 生産中止、修理対応中止
・RF系トラブル
他社製品リプレースにより、RF系トラブルの改善に貢献します。

 

ビジュアルマッチングボックス

ビジュアルマッチングボックス

 

・装備のメンテナスと開発に便利なリアルタイムビジュアル計測機器
・モニタを接続しない場合もマッチャーは通常自動整合動作
・トレース画面で進行波電力、反射波電力等をグラフ表示
・スミスチャート上でチャンバーインピーダンスの監視(アラーム機能付)

 

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