株式会社 荏原製作所
1912年にポンプメーカーとして産声を上げ、その後産業機械のトップメーカーにまで成長した荏原は、長年にわたり培ってきたハードの技術や浄化・焼却・熱回収といったプロセス・ノウハウなどの豊富な「コア技術」をベースに、時代の要請に応える新しい環境保全システムの開発に挑戦し続けています。
● ドライ式真空ポンプ
● スクリュー型ドライポンプ
● 磁気浮上型ターボ分子ポンプ(ET)
● クライオターボポンプ
● 半導体用排ガス処理装置
● 超純水・薬液用ノンパーティクルポンプ
● ウエハー洗浄用高圧ピュアジェットポンプ
● 水処理用薬品
![F固定式排ガス処理装置](https://www.techserve.co.jp/www/wp/wordpress/wp-content/uploads/2018/05/荏原製作所_05.png)
F固定式排ガス処理装置
給/排水が不要なPFC除害
![最新ドライ真空ポンプ](https://www.techserve.co.jp/www/wp/wordpress/wp-content/uploads/2018/05/荏原製作所_09.png)
最新ドライ真空ポンプ
徹底した小型軽量化、クラス世界一レベルの省エネルギー性能を実現しているため、半導体製造工場の消費電力削減に貢献します。